中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司是中国领先的半导体制造设备核心部件提供商及真空科学仪器设备供应商，作为中国科学院下属专注于洁净真空、超高真空技术研究和发展的企业，主营业务为干式真空泵和真空科学仪器设备的研发、生产、销售及相关技术服务，核心产品包括用于集成电路晶圆制造及光伏电池等泛半导体产品制造的干式真空泵，以及面向国家重大科技基础设施和科研领域的真空科学仪器设备。公司始终致力于引领真空技术、支撑科技创新、促进产业发展，为国家战略新兴产业发展和重大科技创新体系建设提供核心支撑。
公司深耕真空装备领域七十余年，拥有真空技术装备国家工程研究中心、国家真空仪器装置工程技术研究中心、国家企业技术中心三个国家级研发平台，是我国真空技术及真空类科学仪器攻坚的主力军。公司先后4次承担“国家极大规模集成电路制造装备及成套工艺（02专项）”，是“02专项”重点支持的集成电路零部件研制单位之一，累计13次承担“04专项”“863计划”“国家重点研发计划”等国家级重大科研专项/课题；截至2025年12月31日，公司拥有发明专利103项，负责或作为主要参与方起草了13项真空技术相关的国家、行业及团体标准，是全国真空技术标准化技术委员会副主任委员单位。公司及其前身先后斩获国家科学技术进步特等、一等、二等、三等奖共6项，中国科学院及省部级科学技术进步奖20余项，6项产品获评国家重点新产品，核心技术实力获国家层面高度认可。
在干式真空泵领域，公司研发创新打破了欧美及日本企业的长期垄断，干式真空泵产品可满足14nm先进逻辑芯片以及128层及以上3DNAND等存储器工艺的生产需要，已在国内各领先晶圆制造企业实现大批量应用，广泛适配国内主流晶圆制造企业及集成电路设备制造企业，已通过台积电、SK海力士、苏州和舰的测试验证并实现小批量出货，同时可广泛应用于碳化硅、砷化镓等化合物半导体制备并实现批量交付。各类干式真空泵累计出货量已超4万台，其中集成电路领域出货量超3万台，2024年公司干式真空泵在集成电路领域国内市占率约为12.72%。在真空科学仪器设备领域，公司先后承担北京正负电子对撞机、兰州重离子加速器、合肥国家同步辐射装置、上海三代光源、北京高能同步辐射光源、上海硬X射线自由电子激光装置等11项国家重大科技基础设施的建设工作，是我国大科学装置关键真空部件光束线、波荡器、前端区等的最主要研制单位；其中公司前身成功研制第一台国产分子束外延设备（MBE），打破国外长期禁运，在科研用MBE设备研制领域居于国内领先地位。
公司是集成电路领域出货量最大的国产干式真空泵制造企业，是唯一在集成电路先进制程实现批量应用的国产企业，也是唯一在清洁、中等、苛刻工艺均实现批量应用的国产企业，有效保障了我国集成电路制造设备关键零部件的自主可控和供应链安全。
