首家国产光刻机企业芯碁微装过会，打破技术壁垒弥补国内产业空白

科创板2020年第93次上市委员会审议会议于2020年10月26日召开，审议2家企业，都获通过。其中包括合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称芯碁微装）。

首家国产光刻机制造企业过会

三年来业绩表现不俗

芯碁微装是一家于2015年6月成立的年轻公司，主要从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务，主要产品及服务包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备等。

据了解，国内A股上市公司中，尚无与公司产品应用领域完全相同的企业。招股说明书显示，与公司产品相近的境内外上市公司分别是日本SCREEN、瑞典Mycronic、美国KLA-Tencor、美国Rudolph、台湾川宝科技、大族激光。

芯碁微装此次拟募集资金4.73亿元，其中，2.08亿元用于高端PCB激光直接成像（LDI）设备升级迭代项目，9380.00万元用于晶圆级封装（WLP）直写光刻设备产业化项目，1.08亿元用于平板显示（FPD）光刻设备研发项目，6355.00万元用于微纳制造技术研发中心建设项目。2017年至2020年1-6月，芯碁微装未进行股利分配。

在合肥“国资委系”的大力支持下，芯碁微装2017-2019年的业绩表现十分耀眼：短短三年间，净利扭亏为盈，从-685万元迅速突破至4,763万元，呈增长趋势。这三年里芯碁微装都做了什么？

这三年里芯碁微装只做了一件事：“直写光刻技术”。

直写光刻设备打破封锁

从PCB向OLED跨越  弥补中国产业空白

光刻是利用光学—化学反应，将设计好的微图形结构，转移到覆有感光材料的晶圆、玻璃基板、覆铜板等基材表面，这三种基材面板对应的最终电子器件分别是：芯片、显示面板和印制电路板（PCB）。其中，制造PCB的直写光刻设备由计算机控制高精度光束，无需掩膜就能直接扫描成像。相较传统掩膜光刻，其不仅省去了多道工序流程，还大幅提升了光刻精度、良品率两大核心指标。

由于受到《瓦纳森协定》限制，中国企业无法购买技术最先进的设备，直写光刻技术在中国并不普及。在此背景下，芯碁微装苦研直写光刻技术，终于做出了一款“ACURA280激光直接成像设备”，该设备能够用于PCB最高端的基板光刻，一举填补该领域空白。芯碁微装因此顺利跻身于行业第一梯队，自给自足，不再受《瓦纳森协定》限制，甚至在国际舞台上与以色列的Orbotech、日本的ORC展开较量。随着PCB产业结构不断升级，国产直接成像设备有望加速实现对行业内传统曝光设备以及进口 PCB 直接成像设备的替代。

除PCB制造业务，芯碁微装也将直写光刻技术押注在更有前景的OLED领域，OLED与PCB相比对精度的要求更高。与合肥打造“IC之都”的蓝景不谋而合。发行人于 2018 年推出应用在FPD 低世代产线的国内首条 OLED 显示面板直写光刻自动线系统（LDW-D1），光刻精度可达 0.7μm，成功获得面板客户的产线验证，给中国的OLED制造带来了希望。

在 IC 掩膜版制版及 IC 前道制造领域，经过多年的深耕与积累,芯碁微装累计服务近 70 家客户，芯碁微装直写光刻设备的客户主要为中国科学院半导体研究所、中国工程物理研究院激光聚变研究中心、中国电子科技集团公司第十一研究所、中国科学技术大学、华中科技大学、广东工业大学等高校及科研院所，通过优秀产品帮助客户在提升产品品质和降低生产成本的同时实现数字化、无人化、智能化发展。

从PCB到OLED再到IC领域，这个年轻的公司在一步步升级直写光刻技术。秉承“成为国产光刻机世界品牌”的奋斗目标，在“依托自有核心技术,加大研发力度,开拓新型应用领域”及“整合行业资源,打造高端装备产业供应链”的战略发展方向下，专注于微纳直接成像设备及直写光刻设备领域，力争成为微纳直写光刻领域的国际领先企业。